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  洁净室空气洁净度等级标准


  ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。


  根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。


  空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)


  空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)


0.1 um0.2 um0.3 um

0.5u

1um5 um
ISO Class 1102



ISO Class 210024104

ISO Class 31000237102358
ISO Class 410002370102035283
ISO Class 51000002370010200352083229
ISO Class 61000000237000102000352008320293
ISO Class 7


352000832002930
ISO Class 8


352000083200029300
ISO Class 9


352000008320000293000

  注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。


  空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996 (中国标准)

粒径、数值洁净度级别

尘埃最大允许数/立方米

浮游菌/立方米

≥5um

微生物最大允许数

≥0.5um

沉降菌/皿
100
3500051
1000035000020001003
10000035000002000050010
3000001050000060000-15

  美国联邦标准 209D 洁净室分级:(已停用)


空气洁净度等级(N)0.1um0.2um0.3um0.5um5um
1
357.531
10350753010
100
750300100
1000


10007
10000


1000070
100000


10000700



  英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级:


空气洁净度等级(N)0.3
0.551025
C100350

D10003500

E1000035000

F
35000

G100000350002000
H
350002000
J
35000020004500
K
3500000200004500500
L

200000450005000
M


45000050000



  各种国际标准的比较:

美国联邦标准209D美国联邦标准209E英国标准BS5295澳大利亚标准AS1386法国标准AFNORX44101德国标准VDI2083国际标准14644-1日本标准JACA2
1M1.5C0.035-
11
10M2.5D0.35-022
100M3.5E3.54000133
1000M4.5G35-244
10000M5.5J350400000355
100000M6.5K35004000000466
-
M

577
-



688
-



79


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